等離子清洗機(jī)不僅外觀設(shè)計美觀、而且內(nèi)在質(zhì)量過硬，產(chǎn)品性能穩(wěn)定可靠，主要核心部件全部采用國際。

二、用途：1.主要應(yīng)用于樣品表面清潔、活化、鍵合、去膠、金屬還原、簡單刻蝕、表面有機(jī)物去除、疏水實(shí)驗(yàn)、鍍膜前處理等。

三、工作條件：

1、工作環(huán)境溫度：5-35℃；

2、工作環(huán)境濕度：≤70%；

3、電源：220/240V、50/60HZ。

四、技術(shù)參數(shù)：

1.主要應(yīng)用于樣品表面清潔、活化、鍵合、去膠、金屬還原、簡單刻蝕、表面有機(jī)物去除、疏水實(shí)驗(yàn)、鍍膜前處理等，免維護(hù)，無需任何耗材。

*2.PLC工控機(jī)控制整個清洗過程，手動、自動兩種工作模式。

3.HEPA高效過濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。

4.7寸彩色觸摸屏互動操作界面，圖形化用戶操作界面顯示，自動監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)，20個配方程序，可存儲、輸出、追溯工藝數(shù)據(jù)，機(jī)器運(yùn)行、停止提示。每個配方可以設(shè)定儲存，真空度，工作氣體，使用功率，處理時間等參數(shù)。

5.雙路氣體獨(dú)立控制，可單獨(dú)運(yùn)行1路或是2路氣體。

6.真空壓力傳感器采用國際。

7.獨(dú)立兩路質(zhì)量流量計(MFC)控制0-500sccm，流量控制準(zhǔn)確?？蛇x量程0-20sccm，0-50sccm，0-100sccm等多種規(guī)格。

8.316不銹鋼或石英真空艙可選擇，全真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質(zhì)，耐腐蝕無污染。

9.電容式等離子激發(fā)方式。

*10.自動匹配器。

*11.采用60度傾角操作面板設(shè)計，符合人體功能學(xué)，操作方便，界面友好。

12.艙體尺寸?160x250mm。

*13.艙體容積5.0L。

14.射頻頻率13.56MHz，射頻功率0-150W無極可調(diào)

15.時間設(shè)定0-9999秒。

16.氣體穩(wěn)定時間 1分鐘。

17.可設(shè)定真空壓力*小1pa，工作真空壓力要求100pa以內(nèi)。

18.電源220V 50/60hz，電流1.2A。

19.外形尺寸L440xW410xH455mm(LxWxH)，整機(jī)重量32Kg。

20.真空泵抽氣速率8m3/小時(2.2升/秒），極限真空0.05Pa，進(jìn)排氣連接口KF16/25。

五、系統(tǒng)配置：

1.主機(jī)1臺，

2.VRD-8真空泵1臺，

3.KF16接口真空軟管1根，

4.?10軟管2米，

5.托盤1塊，

6.電源線1根

7.說明書1本