萬(wàn)級(jí)電子廠潔凈室潔凈度檢測(cè)項(xiàng)目及要求 內(nèi)容和方法--安衡檢測(cè)

十萬(wàn)級(jí)車間的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)是大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得過(guò)3500000個(gè)，大或等于5微米的粒子數(shù)不得過(guò)20000個(gè)；萬(wàn)級(jí)車間的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)是直徑大于等于0.5μ的塵粒數(shù)不能過(guò)350000個(gè)，直徑大于5μ的塵粒數(shù)不能過(guò)2000個(gè)；

萬(wàn)級(jí)藥廠凈化車間的檢測(cè)：1. 測(cè)定之前，凈化空調(diào)系統(tǒng)連續(xù)運(yùn)行至少24小時(shí)。2. 測(cè)定在靜態(tài)下進(jìn)行測(cè)試人員必須穿戴好潔凈服裝。3. 測(cè)試儀器為激光塵埃粒子計(jì)數(shù)儀，型號(hào)Y09-A。4. 測(cè)定點(diǎn)高度距地面1～1.2m。5. 測(cè)定點(diǎn)數(shù)的確定，根據(jù)*有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，*少采樣點(diǎn)數(shù)為，NL=A0.5,其中A為無(wú)塵室面積(㎡),根據(jù)計(jì)算*少采樣點(diǎn)為NL=38。6. 每個(gè)測(cè)定點(diǎn)每次采樣時(shí)間為1分鐘，每個(gè)點(diǎn)測(cè)試3次，取平均值。平均含塵濃度符合潔凈度萬(wàn)級(jí)標(biāo)準(zhǔn)為合格。

電子廠潔凈室潔凈度檢測(cè)項(xiàng)目及要求  常規(guī)檢測(cè)項(xiàng)目：塵埃粒子、浮游菌、沉降菌、溫度、相對(duì)濕度、壓差、換氣次數(shù)必須做項(xiàng)目：車間混合照度、車間空氣細(xì)菌菌落數(shù)、水質(zhì)38項(xiàng)檢測(cè)

因?yàn)閮艋こ痰臋z測(cè)主要關(guān)注兩種粒徑，即0.5um和5um。等速采樣對(duì)≤0.5um的顆粒影響不大。如果采樣空氣用于計(jì)算大于或等于 0.5um 的粒徑濃度，如果這些粒子不受等速條件的影響，則計(jì)算結(jié)果不受影響。因此潔凈室區(qū)域非等速采樣只對(duì)大于等于0.5um的顆粒有意義。

在確認(rèn)級(jí)別時(shí)，應(yīng)當(dāng)使用采樣管較短的便攜式塵埃粒子計(jì)數(shù)器，避免≥5.0μm懸浮粒子在遠(yuǎn)程采樣系統(tǒng)的長(zhǎng)采樣管中沉降。在單向流系統(tǒng)中，應(yīng)當(dāng)采用等動(dòng)力學(xué)的取樣頭。

　電子制造業(yè)廠潔凈室檢測(cè)要求潔凈度等級(jí)、風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)等按需要進(jìn)行控制。潔凈室的照度和截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范控制。另外，這類潔凈室對(duì)靜電的要求非常高。嚴(yán)格的。其中，對(duì)濕度的要求更為嚴(yán)格。

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