十萬級(jí)電子廠車間潔凈度的檢測 的標(biāo)準(zhǔn)--安衡檢測

十萬級(jí)車間的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)是大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得過3500000個(gè)，大或等于5微米的粒子數(shù)不得過20000個(gè)；萬級(jí)車間的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)是直徑大于等于0.5μ的塵粒數(shù)不能過350000個(gè)，直徑大于5μ的塵粒數(shù)不能過2000個(gè)；

壓差檢測要求：（1）靜壓差的測定要求在潔凈區(qū)內(nèi)的所有門全部關(guān)閉情況下進(jìn)行。（2）在潔凈平面上應(yīng)從潔凈度由高到低的順序依次進(jìn)行，一直檢測到直通室外的房間。 （3）測管口設(shè)在室內(nèi)沒有氣流影響的任何地方均可，測管口面與氣流流線平行。 （4）所測量記錄的數(shù)據(jù)應(yīng)到 1.0Pa。無塵車間潔凈度檢測空態(tài)是指設(shè)施齊全的潔凈室所有管線接通并運(yùn)行但無生產(chǎn)設(shè)備、材料及生產(chǎn)人員

電子廠車間潔凈度的檢測  因?yàn)樵谶^于干燥的廠房內(nèi)容易產(chǎn)生靜電，會(huì)損壞CMOS集成度。一般來說，電子車間的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對濕度應(yīng)控制在50-60之間（特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定）。此時(shí)，能有效消除靜電，讓人心情舒暢。芯片生產(chǎn)車間、集成電路潔凈室和磁盤制造車間是電子制造潔凈室的重要組成部分。

檢測指標(biāo)：溫度、相對濕度、照度、照度、噪聲、靜壓差、懸浮粒子數(shù)、換氣次數(shù)、過濾器撿漏、沉降菌 ?

噪聲和照度數(shù)據(jù)檢測：噪聲和照度檢測的時(shí)候要注意距離，嚴(yán)格按照相應(yīng)的檢測方法來檢測。

潔凈室測定的程序大致如下:風(fēng)機(jī)空吹→室內(nèi)清掃→調(diào)整風(fēng)量→裝中效過濾器→安裝高效過濾器→系統(tǒng)運(yùn)行→高效過濾器檢漏→調(diào)整風(fēng)量→調(diào)整室內(nèi)靜壓差→調(diào)整溫濕度→單相流潔凈室截面平均速度、速度不均勻的測定→室內(nèi)潔凈度測定→室內(nèi)浮游菌和沉降菌的測定→生產(chǎn)設(shè)備有關(guān)的工作和調(diào)整。

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